โดยเกิดการแพร่ของไอระเหยเคมี (SiH2C

โดยเกิดการแพร่ของไอระเหยเคมี (SiH2Cl2 ทำปฏิกิริยากับ NH3) เข้าทำปฎิกิริยาที่ผิว substrate และดูดซับเข้าสู่พื้นผิว substrate
เกิดปฎิกิริยา Oxidation โดยการดึง H2 ออกเกิดเป็นชั้นฟิล์ม Si3N3 บนผิว substrate

ผลลัพธ์ (อังกฤษ) 2:

Caused by the spread of chemical vapors (SiH2Cl2 react with NH3) to react to the skin and absorbed into the substrate surface. substrate
reaction H2 Oxidation by pulling out a Si3N3 film layer on the surface substrate.

ผลลัพธ์ (อังกฤษ) 3:

By the diffusion of volatile chemicals (SiH2Cl2 react with NH3) to do a reaction surface and substrate substrate absorbs into the surface.
the reaction Oxidation by pulling out a H2 film layer on the surface of Si3N3 substrate
.