Internal Standard คือ element ที่เติมลงไปในทั้ง sample และ standard โดยเติมให้มีความเข้มข้นเท่ากัน
calibration curve ได้จากการ plot ระหว่าง emission intensity ratio ระหว่าง analytical line (wavelength ของอะตอมวิเคราะห์) และ internal standard line (wavelength ของอะตอมที่เป็น internal standard)