เกิดจากสมบัติทางเคมีของ Pt ที่เมื่อ

เกิดจากสมบัติทางเคมีของ Pt ที่เมื่อทำปฏิกิริยากับ oxygen atom ในกระบวนการ oxygen plasma etching จะมีผลต่อรูปร่างของ micro-pattern โดยมีการบวมของแต่ละ pattern เล็กน้อย

ผลลัพธ์ (อังกฤษ) 1:

Caused by the chemical properties of the reaction with oxygen when the Pt atom in oxygen plasma etching process will affect the shape of the micro-pattern with each pattern slightly swollen.

ผลลัพธ์ (อังกฤษ) 2:

The chemical properties of Pt reacts with the oxygen atom of oxygen plasma etching processes can influence its shape. micro-pattern The swell of each pattern a little.

ผลลัพธ์ (อังกฤษ) 3:

Due to the chemical properties of Pt when reacted with oxygen atom in the process oxygen plasma etching will affect the shape of the micro-pattern. The swelling of each pattern slightly.