จากนั้นที่ผิวของ substrate จะเกิดปฎ

จากนั้นที่ผิวของ substrate จะเกิดปฎิกิริยา Oxidation โดยการดึง H2 ออกเกิดเป็นชั้นฟิล์ม Si3N3 บนผิว substrate

ผลลัพธ์ (อังกฤษ) 1:

Then the surface of substrate Oxidation reaction occurs by pulling out a layer of film Si3N3 H2 on the substrate surface.

ผลลัพธ์ (อังกฤษ) 2:

Then the surface of the substrate reaction H2 Oxidation by pulling out a Si3N3 film layer on the surface substrate.

ผลลัพธ์ (อังกฤษ) 3:

Then the surface of substrate's reaction Oxidation by pulling out a H2 film layer on the surface of Si3N3 substrate
.